- CLEAN BOOTH(Common Facility)
Department of Mechanical and Electrical System Engineering
The 1st floor of South Building, Science Plaza

 
 

両面マスクアライナ露光装置両面マスクアライナ露光装置
Versatile High-definition 3D Stereolithography Equipment
RIEドライエッチング装置RIEドライエッチング装置
Digital Microscope
小型チューブ炉小型チューブ炉
Ultra-depth Multi-angle Observation System
ドラフタードラフター
Magnetic Sputtering Apparatus
ドラフタードラフター
Bio Clean Bench
ドラフタードラフター
Safety Freezer/Refrigerator 

 

   Versatile High-definition
    3D Stereolithography Equipment
 Digital Microscope
 Ultra-depth Multi-angle
    Observation System
 Magnetic Sputtering Apparatus
 Bio Clean Bench
 Safety Freezer/Refrigerator