- LABORATORY 1 
Department of Mechanical and Electrical System Engineering
The 5th floor of South Building, Lab. 504

  

UV Laser Marker 
Scanning Acoustic Tomograph (SAT) 
Microscopic Raman Spectroscope
リニアモーター駆動式疲労試験機リニアモーター駆動式疲労試験機
Linear Motor Driven Fatigue Tester
半導体デバイスアナライザ半導体デバイスアナライザ
Semiconductor Device Analyzer
三源DCスパッタ装置デポダウン三源DCスパッタ装置デポダウン
Simple SEM
三源DCスパッタ装置デポダウン三源DCスパッタ装置デポダウン
3-source DC/RF Sputtering Apparatus (Depo-down 3 inch cathode)
三源DCスパッタ装置デポダウン三源DCスパッタ装置デポダウン
3-source DC Sputtering Apparatus (Depo-down 2 inch cathode)
三源DCスパッタ装置デポアップ三源DCスパッタ装置デポアップ
3-source DC Sputtering Apparatus (Depo-up 2 inch cathode)
小型真空蒸着装置小型真空蒸着装置
Small Evaporator
接合装置接合装置
Bonding Equipment
赤外線導入加熱システム赤外線導入加熱システム
Infrared Introduction Heating System
セミオート卓上ワイヤボンダセミオート卓上ワイヤボンダ
Semi-auto Desktop Wire Bonder
曲げ試験装置曲げ試験装置
Bending Tester
曲げねじり引張試験装置曲げねじり引張試験装置
Bending-torsion Tensile Tester
集束イオンビーム加工装置(FIB)集束イオンビーム加工装置(FIB)
Focused Ion Beam (FIB)
薄膜引張試験システム薄膜引張試験システム
Thin Film Tensile Test System
プローブシステム&ナノマニピュレーションステージプローブシステム&ナノマニピュレーションステージ
Chamber Tensile Test System
電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)
Field- emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
超微小押し込み硬さ試験装置超微小押し込み硬さ試験装置
Nanoindenter
デジタルマイクロスコープ&ハイスピードカメラデジタルマイクロスコープ&ハイスピードカメラ
Disital Microscope & High Speed Camera
エネルギー分散型X線分析装置(EDX)エネルギー分散型X線分析装置(EDX)
Energy Dispersive X-ray Spectroscopy
走査プローブ顕微鏡走査プローブ顕微鏡
Atomic Force Microsope (AFM)
プローブシステム&ナノマニピュレーションステージプローブシステム&ナノマニピュレーションステージ
Probe System & Nanomanipulation System

 

   UV Laser Marker
 Scanning Acoustic
    Tomograph (SAT)
 Microscopic Raman
    Spectroscope
 Linear Motor Driven
    Fatigue Tester

 Semiconductor Device
    Analyzer
   Simple SEM
 3-source DC/RF Sputtering
    Apparatus
   (Depo-down 3 inch cathode)
 3-source DC Sputtering
    Apparatus
    (Depo-down 2 inch cathode)
 3-source DC Sputtering
    Apparatus
    (Depo-up 2 inch cathode)
 Small Evaporator
 Bonding Equipment
 Infrared Introduction
    Heating System
 Semi-auto Desktop Wire Bonder
 Bending Tester
 Bending-torsion
    Tensile Tester
 Focused Ion Beam (FIB)
 Thin Film Tensile Test System
   Chamber Tensile Test System
 Field-emission Scanning
    Electron Microscope (FE-SEM)
 Nanoindenter
 Disital Microscope
    & High Speed Camera
 Energy Dispersive
    X-ray Spectroscopy (EDX)
 Atomic Force Microscope (AFM)
 Probe System
    & Nanomanipulation System