- LABORATORY 2 
Department of Mechanical and Electrical System Engineering
The 5th floor of South Building, Lab. 505 

  

両面マスクアライナ露光装置両面マスクアライナ露光装置
Gas Cylinder Storage
両面マスクアライナ露光装置両面マスクアライナ露光装置
Zetasizer Nano ZS
両面マスクアライナ露光装置両面マスクアライナ露光装置
Double-side Mask Aligner
RIEドライエッチング装置RIEドライエッチング装置
Dry Etching System (RIE)
小型チューブ炉小型チューブ炉
Small Thermal Oxidation Furnace (for 4 inch & 2 inch)
ドラフタードラフター
Fume Hood
ナノ粒子製造装置ナノ粒子製造装置
Nanoparticles Organization
クリーンベンチクリーンベンチ
Clean Bench 
ダイシングソーダイシングソー
Dicing Machine
三源DCスパッタ装置デポダウン三源DCスパッタ装置デポダウン
Polishing Machine
イオンミリング装置イオンミリング装置
Ion Milling Equioment
高温示差走査熱量計(DSC)高温示差走査熱量計(DSC)
Differential Scanning Calorimetry (DSC)
ドライオーブンドライオーブン
Dry Oven
遠心分離機遠心分離機
Centrifuge
AFMAFM
Atomic Force Microscope (AFM) 
TSCTSC
Thermal Shock Chamber
遠心分離機遠心分離機
Cutting Machine

   

 Gas Cylinder Storage
 Zetasizer Nano ZS
 Double-side Mask Aligner
 Dry Etching System (RIE)
 Small Thermal
    Oxidation Furnace (for 4 inch)
 Small Thermal
    Oxidation Furnace (for 2 inch)
 Fume Hood
 Chemical Storage
 Nanoparticles Organaizetion
   Clean Bench
 Dicing Machine
 Polishing Machine
 Ion Milling Equipment
 Differential Scanning
    Calorimetry (DSC)
 Dry Oven
 Centrifuge
 Atomic Force Microscope (AFM)
   Thermal Shock Chamber
 Cutting Machine