LABORATORY
EXPERIMENTAL ROOM, CLEAN ROOM, CLEAN BOOTH
LABORATORY
機械電気システム工学科
南館5階Lab. 504
機械電気システム工学科
南館5階Lab. 505
南館1階サイエンスプラザ
EXPERIMENTAL ROOM
EXPERIMENTAL ROOM, SEM, FIB
EXPERIMENTAL ROOM
工学部機械電気システム工学科 南館5階Lab. 504
マイクロ・ナノ材料の機械物性を調べたりナノ加工したりする自作装置がある実験室です
1. UVレーザーマーカ
2. 超音波探傷装置(SAT)
3. 顕微ラマン分光装置
4. リニアモーター駆動式疲労試験機
5. 簡易SEM
6. 三源DCスパッタ装置（デポダウン3インチカソード）
7. 三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチカソード）
8. 三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチカソード）
9. 小型真空蒸着装置
10. 接合装置
11. 赤外線導入加熱システム
12. レーザー接合装置
13. セミオート卓上ワイヤボンダ
14. 曲げ試験装置
15. 曲げねじり引張試験装置
16. 集束イオンビーム加工装置（FIB）
17. 薄膜引張試験システム
18. 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
19. 超微小押し込み硬さ試験装置（ナノインデンター）
20. デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
21. エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
22. 走査プローブ顕微鏡 (AFM)
23. プローブシステム＆ナノマニュピュレーションステージ
24. 半導体デバイスアナライザー
1. UVレーザーマーカ
2. 超音波探傷装置(SAT)
3. 顕微ラマン分光装置
4. リニアモーター駆動式疲労試験機
5. 簡易SEM
6. 三源DCスパッタ装置（デポダウン3インチカソード）
7. 三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチカソード）
8. 三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチカソード）
9. 小型真空蒸着装置
10. 接合装置
11. 赤外線導入加熱システム
12. レーザー接合装置
13. セミオート卓上ワイヤボンダ
14. 曲げ試験装置
15. 曲げねじり引張試験装置
16. 集束イオンビーム加工装置（FIB）
17. 薄膜引張試験システム
18. 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
19. 超微小押し込み硬さ試験装置（ナノインデンター）
20. デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
21. エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
22. 走査プローブ顕微鏡 (AFM)
23. プローブシステム＆
ナノマニュピュレーションステージ
24. 半導体デバイスアナライザー
CLEAN ROOM
CLEAN ROOM, CHEMISTRY LABORATORY
CLEAN ROOM
工学部機械電気システム工学科5階Lab. 505
薄膜材料試験片やMEMSデバイスを作製するためのクリーンルームを備えています
1.高圧ガスボンベ庫
2. 両面マスクアライナー露光装置
3. RIE装置（ドライエッチング装置）
4. 小型チューブ炉（4inch熱酸化炉）
5. 小型チューブ炉（2inch熱酸化炉）
6. ドラフター
7. ナノ粒子製造装置
8. クリーンベンチ
9. 薬品庫
10. イオンミリング装置
11. 研磨装置
12. 高温示差走査熱量計（DSC）
13. ダイシングソー
14. エアシャワー
15. ドライオーブン
16. 遠心分離機
17. ゼータサイザー・ナノZS
18. 走査プローブ顕微鏡（AFM）
19. 小型冷熱衝撃装置
2. 両面マスクアライナー露光装置
3. RIE装置（ドライエッチング装置）
4. 小型チューブ炉（4inch熱酸化炉）
5. 小型チューブ炉（2inch熱酸化炉）
6. ドラフター
7. ナノ粒子製造装置
8. クリーンベンチ
9. 薬品庫
10. イオンミリング装置
11. 研磨装置
12. 高温示差走査熱量計（DSC）
13. ダイシングソー
14. エアシャワー
15. ドライオーブン
16. 遠心分離機
17. ゼータサイザー・ナノZS
18. 走査プローブ顕微鏡（AFM）
19. 小型冷熱衝撃装置
20. 紫外線可視分光光度計
1.高圧ガスボンベ庫
2. 両面マスクアライナー露光装置
3. RIE装置（ドライエッチング装置）
4. 小型チューブ炉（4inch熱酸化炉）
5. 小型チューブ炉（2inch熱酸化炉）
6. ドラフター
7. ナノ粒子製造装置
8. クリーンベンチ
9. 薬品庫
10. イオンミリング装置
11. 研磨装置
12. 高温示差走査熱量計（DSC）
13. ダイシングソー
14. エアシャワー
15. ドライオーブン
16. 遠心分離機
17. ゼータサイザー・ナノZS
18. 走査プローブ顕微鏡（AFM）
19. 小型冷熱衝撃装置
2. 両面マスクアライナー露光装置
3. RIE装置（ドライエッチング装置）
4. 小型チューブ炉（4inch熱酸化炉）
5. 小型チューブ炉（2inch熱酸化炉）
6. ドラフター
7. ナノ粒子製造装置
8. クリーンベンチ
9. 薬品庫
10. イオンミリング装置
11. 研磨装置
12. 高温示差走査熱量計（DSC）
13. ダイシングソー
14. エアシャワー
15. ドライオーブン
16. 遠心分離機
17. ゼータサイザー・ナノZS
18. 走査プローブ顕微鏡（AFM）
19. 小型冷熱衝撃装置
20. 紫外線可視分光光度計