EXPERIMENTAL ROOM
EXPERIMENTAL ROOM
EXPERIMENTAL ROOM
| UVレーザーマーカー |
|---|
| 超音波映像装置(SAT) |
| 顕微ラマン分光装置 |
| リニアモーター駆動式疲労試験機 |
| 半導体デバイスアナライザ |
| 三源DC・RFスパッタ装置（デポダウン3インチカソード） |
| 三源DCスパッタ装置（デポダウン） |
| 三源DCスパッタ装置（デポアップ |
| 小型真空蒸着装置 |
|---|
| 接合装置・自作 |
| 赤外線導入加熱システム |
| セミオート卓上ワイヤボンダ |
| 曲げ試験装置・自作 |
| 曲げねじり引張試験装置・自作 |
| 集束イオンビーム加工装置（FIB） |
| 薄膜引張試験システム |
| チャンバー引張試験システム |
|---|
| 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM） |
| 超微小押し込み硬さ試験装置（ナノインデンター） |
| デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ |
| エネルギー分散型X線分析装置（EDX） |
| 走査プローブ顕微鏡 |
| プローブシステム＆ナノマニュピュレーションステージ |
UVレーザーマーカ
UV波長を使った熱影響を抑えたダメージレスな微細加工が可能
超音波映像装置(SAT)
X線装置，赤外線検査装置や光学顕微鏡で検出できないナノメーターレベルの隙間も超音波を使って非破壊で映像化可能
顕微ラマン分光装置
物質の状態に関係なくあるがままの状態で，かつ非破壊でスペクトルの測定が可能
リニアモーター駆動式疲労試験機
マイクロサイズの試験片の機械物性評価，動的試験が可能
半導体デバイスアナライザ
基本的なIV/CV特性測定から最先端のIV測定まで幅広く測定が可能
三源DC・RFスパッタ装置（デポダウン3インチカソード）
Al-NiやＴi-Si等の自己伝播発熱反応を有する金属薄膜を作製
三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチカソード）
Al-NiやＴi-Si等の自己伝播発熱反応を有する金属薄膜を作製
三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチカソード）
【自作装置】Al-Niの成膜に使用
小型真空蒸着装置
主にCr, Al, Niを成膜に使用し,低融点の原料をスパッタ装置に比べ数倍の速度で成膜可能
接合装置
【自作装置】ウェハ接合を行うため開発，加圧・加熱・真空をコントロール可能
赤外線導入加熱システム（ラピッド・アニール）
赤外線ランプを集光させて高真空下で1500℃まで加熱すること可能
セミオート卓上ワイヤボンダ
MEMSデバスなどに金属細線を配線をするための装置
曲げ試験装置
【自作装置】マイクロ～ミリスケールの直方体試験片に対し三点／四点曲げ試験が可能
曲げねじり引張試験装置
【自作装置】MEMSミラーデバイスなどに含まれる微小トーションビームに引張・曲げ・ねじりの変形を単独かつ複合的に付与可能
集束イオンビーム加工装置（FIB）
集束させたイオンビームで三次元形状にナノ・マイクロ加工できる実験システム，タングステンおよびカーボン膜の局所成膜機能も搭載
薄膜引張試験システム
薄膜材料を対象とした二軸引張試験装置で，薄膜に引張負荷を加えるためのアクチュエータ，荷重・変位計測のためのロードセルと変位計を4機ずつ搭載した試験装置
チャンバー引張試験システム
薄膜材料を対象とした引張・疲労試験装置で，昇温環境での試験が可能
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
電子線を試料に当てて表面を観察する装置で，薄膜やナノ粒子などの表面観察を高分解能で観察可能
超微小押し込み硬さ試験装置（ナノインデンター）
薄膜などの微小サイズの表面近傍の硬さやヤング率を簡便に計測できる装置で，硬質薄膜の硬さ計測や，微粒子と変形実験などが可能
デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
微小サイズの寸法形状を計測するための装置で，肉眼では捉えられない速度の反応を撮影するときに使用する装置
エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
電子線照射により発生する特性X線を検出し，エネルギーで分校することにより元素分析や組成分析をする装置（FF-SEMに取り付けて使用する）
走査プローブ顕微鏡
先端を尖らせた短針を用いて，物質表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡
プローブシステム＆ナノマニピュレーションステージ
SEM（走査型電子顕微鏡）に取付け可能なプローブシステム，荷重計測やMEMSデバイスの校正に用いるForce sensorやＭicro gripperなどがある
CLEAN ROOM
CLEAN ROOM, CHEMISTRY LABORATORY
CLEAN ROOM
| 高圧ガスボンベ庫 |
|---|
| ゼータサイザーナノZS |
| 両面マスクアライナ露光装置 |
| RIE装置(ドライエッチング装置) |
| 小型チューブ炉(4inch熱酸化炉) |
| 小型チューブ炉 (2inch熱酸化炉) |
| ドラフター |
|---|
| ウェットベンチ |
| ナノ粒子製造装置／自作 |
| ダイシングソー |
| 研磨装置 |
| イオンミリング装置 |
| 高温示差走査熱量計（DSC） |
|---|
| ドライオーブン |
| 遠心分離機 |
| 走査プローブ顕微鏡 |
| 小型冷熱衝撃装置 |
| 微細構造材料切断機 |
| 紫外線可視分光光度計 |
高圧ガスボンベ庫
特定高圧ガス用の安全ボンベ庫
ゼータサイザーナノZS
ナノ粒子，コロイド，生体分子の粒子径，粒子荷電(ゼータ電位)の測定装置
両面マスクアライナ露光装置
紫外線を用いて試料に微細なパターンを転写・焼き付けする装置
RIE装置（ドライエッチング装置）
反応性ドライエッチング（Reactive Ion Etching)装置でシリコン・酸化シリコン・窒化シリコン・有機物などをドライエッチング可能
小型チューブ炉
シリコンウェハの水蒸気酸化を行うためのチューブ炉（上：4inch熱酸化炉，下；2inch熱酸化炉）
ドラフター
有害な気体が発生時や揮発性の有害物質を取り扱う際，安全のために用いる局所排気装置の一種
ナノ粒子製造装置
【自作装置】霧化加熱自己組織化法でシリカやアルミナ製の多孔質ナノ粒子を作製可能
クリーンベンチ
HEPAフィルタを用いて埃などの混入を防ぎクリーンな環境でサンプル観察などの作業が可能
ダイシングソー
Siウェハーを試験片や観察サンプルの形状に加工・切断する装置
研磨装置
迅速性と順応性が高い研磨機で手動や半自動で研磨可能
イオンミリング装置
試料内部構造観察や各種分析など様々な評価目的に応じた試料作製が可能
高温示差走査熱量計（DSC）
容器に入ったサンプルを電気炉で加熱，空の容器との温度差を比較し発熱量や吸熱量を測定する装置
ドライオーブン
自然対流式の低温乾燥機で粉体や軽量な物を入れても飛散が少なく水分乾燥可能な装置
遠心分離機
2mLや50mLコニカル管といったスタンダードなマイクロ冷却の遠心ができる装置
走査プローブ顕微鏡
先端を尖らせた短針を用いて，物質表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡
小型冷熱衝撃装置
試料へ均一な温度ストレスを与えられる小型の冷熱衝撃装置
微細構造材料切断機
微細構造検査のための材料を自動的に切断する専門的な装置
紫外線可視光分光光度計
紫外～可視領域までの光をサンプルに照射しサンプルを透過または反射した光を検出することでスペクトルを取得する装置
CLEAN BOOTH
CLEAN BOOTH
CLEAN BOOTH
| 多用途高精細3D光造形装置 |
|---|
| デジタルマイクロスコープ |
| 超深度マルチアングル観察システム |
| マグネトロンスパッタ装置 |
|---|
| バイオクリーンベンチ |
| 庫内防爆冷凍冷蔵庫 |
多用途高精細3D光造形装置
2光子重合を用いてあらゆる3次元構造をナノ単位で造形することが可能な3D光造形装置
デジタルマイクロスコープ
微小サイズの寸法形状を計測するための装置
超深度マルチアングル観察システム
SEM（走査型電子顕微鏡）とマイクロスコープのメリットを融合させたハイブリット観察装置
マグネトロンスパッタ装置
SEM資材のチャージアップを防止し二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置
バイオクリーンベンチ
キャビネット内外からの汚染エアロゾルの漏洩や流入を防止する装置
庫内防爆冷凍冷蔵庫
可燃性ガス・液体などを保管できる「防爆機器」認定の冷凍冷蔵庫