MATERIAL & TESTING ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 504]
MATERIAL & TESTING ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 504]
UVレーザーマーカ
超音波映像装置（SAT）
ラマン分光装置
リニアモーター駆動式疲労試験機
三源DC/RFスパッタ装置（デポダウン3インチ）
三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチ）
三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチ）
接合装置
4インチ加圧加熱接合装置
赤外線導入加熱システム（ラピッド・アニール）
セミオート卓上ワイヤボンダ
曲げ試験装置（自作）
曲げねじり引張試験装置（自作）
集束イオンビーム加工装置（FIB）
薄膜二軸引張試験装置（自作）
チャンバー引張試験装置（自作）
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
原子間力顕微鏡（AFM）
プローブシステム＆マニピュレーションステージ
MICROFABRICATION ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 505]
MICROFABRICATION ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 505]
超微小押し込み硬さ試験機
超微小押し込み硬さ試験機
ゼータサイザーナノZS
高圧ガスボンベ庫
両面マスクアライナー露光装置
RIE装置（ドライエッチング装置）
ドラフター
ナノ粒子製造装置
クリーンベンチ
ダイシングソー
研磨装置
高温示差熱量計（DSC）
ドライオーブン
遠心分離機
小型冷熱衝撃装置
微細構造材料切断機
紫外線可視光分光光度計
イオンミリング装置
原子間力顕微鏡（AFM）
小型チューブ炉
CLEAN BOOTH
工学部 南館1階 [機械工房]
CLEAN BOOTH
工学部 南館1階 共有施設 [機械工房]
多用途高精細3D光造形装置
デジタルマイクロスコープ
超深度マルチアングル観察システム
マグネトロンスパッタ装置
バイオクリーンベンチ
庫内防爆冷凍冷蔵庫