MATERIAL & TESTING ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 SLab 504
MATERIAL & TESTING ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 SLab 504
UVレーザーマーカ
超音波映像装置（SAT）
ラマン分光装置
リニアモーター駆動式疲労試験機
三源DC/RFスパッタ装置（デポダウン3インチ）
三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチ）
三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチ）
接合装置
4インチ加圧加熱接合装置
赤外線導入加熱システム（ラピッド・アニール）
セミオート卓上ワイヤボンダ
曲げ試験装置（自作）
曲げねじり引張試験装置（自作）
集束イオンビーム加工装置（FIB）
薄膜二軸引張試験装置（自作）
チャンバー引張試験装置（自作）
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
原子間力顕微鏡（AFM）
プローブシステム＆マニピュレーションステージ
MICROFABRICATION ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 SLab 505
MICROFABRICATION ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 SLab 505
超微小押し込み硬さ試験機
超微小押し込み硬さ試験機
ゼータサイザーナノZS
高圧ガスボンベ庫
両面マスクアライナー露光装置
RIE装置（ドライエッチング装置）
ドラフター
ナノ粒子製造装置
クリーンベンチ
ダイシングソー
研磨装置
高温示差熱量計（DSC）
ドライオーブン
遠心分離機
小型冷熱衝撃装置
微細構造材料切断機
紫外線可視光分光光度計
イオンミリング装置
原子間力顕微鏡（AFM）
小型チューブ炉
CLEAN BOOTH
工学部 南館1階 機械工房
CLEAN BOOTH
工学部 南館1階 共有施設 [機械工房]
多用途高精細3D光造形装置
デジタルマイクロスコープ
超深度マルチアングル観察システム
マグネトロンスパッタ装置
バイオクリーンベンチ
庫内防爆冷凍冷蔵庫