EQUIPMENT
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MATERIAL & TESTING ROOM
UVレーザーマーカ
超音波映像装置(SAT)
顕微ラマン分光装置
リニアモーター駆動式疲労試験機
半導体デバイスアナライザ
三源DC・RFスパッタ装置（デポダウン3インチカソード）
三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチカソード）
三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチカソード）
小型真空蒸着装置
接合装置
赤外線導入加熱システム（ラピッド・アニール）
セミオート卓上ワイヤボンダ
曲げ試験装置
曲げねじり引張試験装置
集束イオンビーム加工装置（FIB）
薄膜引張試験システム
チャンバー引張試験システム
電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
超微小押し込み硬さ試験装置（ナノインデンター）
デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
走査プローブ顕微鏡
プローブシステム＆ナノマニピュレーションステージ
４インチ加圧加熱接合装置
MICROFABRICATION ROOM
高圧ガスボンベ庫
ゼータサイザーナノZS
両面マスクアライナ露光装置
RIE装置（ドライエッチング装置）
小型チューブ炉
ドラフター
ナノ粒子製造装置
クリーンベンチ
ダイシングソー
研磨装置
イオンミリング装置
高温示差走査熱量計（DSC）
ドライオーブン
遠心分離機
走査プローブ顕微鏡
小型冷熱衝撃装置
微細構造材料切断機
紫外線可視光分光光度計
CLEAN BOOTH
多用途高精細3D光造形装置
デジタルマイクロスコープ
超深度マルチアングル観察システム
マグネトロンスパッタ装置
バイオクリーンベンチ
庫内防爆冷凍冷蔵庫