MATERIAL & TESTING ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 504]
MICROFABRICATION ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 505]
- UVレーザーマーカ
- 超音波映像装置（SAT）
- ラマン分光装置
- リニアモーター駆動式疲労試験機
- 三源DC/RFスパッタ装置（デポダウン3インチ）
- 三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチ）
- 三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチ）
- 接合装置
- 4インチ加圧加熱接合装置
- 赤外線導入加熱システム（ラピッド・アニール）
- セミオート卓上ワイヤボンダ
- 曲げ試験装置（自作）
- 曲げねじり引張試験装置（自作）
- 集束イオンビーム加工装置（FIB）
- 薄膜二軸引張試験装置（自作）
- チャンバー引張試験装置（自作）
- 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
- デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
- エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
- 走査プローブ顕微鏡
- プローブシステム＆マニピュレーションステージ
- 超微小押し込み硬さ試験機
- 超微小押し込み硬さ試験機
- ゼータサイザーナノZS
- 高圧ガスボンベ庫
- 両面マスクアライナー露光装置
- RIE装置（ドライエッチング装置）
- 小型チューブ炉
- ドラフター
- ナノ粒子製造装置
- クリーンベンチ
- ダイシングソー
- 研磨装置
- イオンミリング装置
- 高温示差熱量計（DSC）
- ドライオーブン
- 遠心分離機
- 走査プローブ顕微鏡
- 小型冷熱衝撃装置
- 微細構造材料切断機
- 紫外線可視光分光光度計
MATERIAL & TESTING ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 504]
- UVレーザーマーカ
- 超音波映像装置（SAT）
- ラマン分光装置
- リニアモーター駆動式疲労試験機
- 三源DC/RFスパッタ装置（デポダウン3インチ）
- 三源DCスパッタ装置（デポダウン2インチ）
- 三源DCスパッタ装置（デポアップ2インチ）
- 接合装置
- 4インチ加圧加熱接合装置
- 赤外線導入加熱システム（ラピッド・アニール）
- セミオート卓上ワイヤボンダ
- 曲げ試験装置（自作）
- 曲げねじり引張試験装置（自作）
- 集束イオンビーム加工装置（FIB）
- 薄膜二軸引張試験装置（自作）
- チャンバー引張試験装置（自作）
- 電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）
- デジタルマイクロスコープ＆ハイスピードカメラ
- エネルギー分散型X線分析装置（EDX）
- 走査プローブ顕微鏡
- プローブシステム＆マニピュレーションステージ
MICROFABRICATION ROOM
工学部・機械電気システム工学科 南館5階 [SLab. 505]
- 超微小押し込み硬さ試験機
- 超微小押し込み硬さ試験機
- ゼータサイザーナノZS
- 高圧ガスボンベ庫
- 両面マスクアライナー露光装置
- RIE装置（ドライエッチング装置）
- 小型チューブ炉
- ドラフター
- ナノ粒子製造装置
- クリーンベンチ
- ダイシングソー
- 研磨装置
- イオンミリング装置
- 高温示差熱量計（DSC）
- ドライオーブン
- 遠心分離機
- 走査プローブ顕微鏡
- 小型冷熱衝撃装置
- 微細構造材料切断機
- 紫外線可視光分光光度計
- 多用途高精細3D光造形装置
- デジタルマイクロスコープ
- 超深度マルチアングル観察システム
- マグネトロンスパッタ装置
- バイオクリーンベンチ
- 庫内防爆冷凍冷蔵庫